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X射線熒光的激發源使用X射線代替電子束，因為X射線的使用避免了樣品過熱的問題。幾乎所有商用 X 射線熒光光譜儀都使用封閉的 X 射線管作為初始激發光源。一些較簡單的系統可能會使用放射性同位素源，而 X 射線熒光光譜儀中一般不單獨使用電子激發，它僅限于電子顯微鏡中的 X 射線熒光分析。
?? X射線熒光光譜儀具有快速、無損、高精度和適用性強的重要性能，可對所有元素進行快速定量分析。波長色散光譜儀的最新發展已將元素范圍擴展到碳 (Z=6)。大部分測量范圍可以低至10-6級的檢出限，精度可達千分之幾。
??一、基本原理
??熒光的產生是因為初始X射線光子能量大到足以在樣品中產生電子空穴，從而導致二次輻射（熒光）的產生。這種二次輻射是構成樣品的元素的特征。用于分離和測量由初始 X 射線激發產生的離散特征波長的技術稱為 X 射線熒光光譜。 X 射線熒光光譜法提供了一種定性分析方法，可測量特征 X 射線輻射的波長或能量，以確定元素的類型。同時，它測量輻射特征譜線的強度，然后將該強度與元素的濃度聯系起來，即可對給定元素進行定量分析。根據莫斯萊定律，只要測量X-熒光射線的波長，就可以確定一種元素的存在，只要測量X-熒光射線的強度，就可以確定一種元素的含量。
??二、X射線熒光光譜分析
??X射線熒光光譜分析儀的主要組成部分有：激發源、檢測器、高壓電源、前置放大器、主放大器、模數轉換器。
?? 1. X射線熒光光譜的獲取方法
??X射線熒光光譜，即X射線發射光譜，是一種無損儀器分析方法。為了區分不同寶石的成分，通常使用兩種X熒光光譜技術：
?? (1)波長色散光譜法：將不同波長的X熒光經分光晶體衍射，達到分光目的，再用檢測器檢測波長處熒光強度的差異。
?? (2)能量色散光譜：首先用檢測器接收所有不同能量的X熒光，檢測器轉換成電脈沖信號。前置放大后，用多通道脈沖高度分析儀進行信號處理，得到不同能量的X熒光光譜。光譜儀使用光譜晶體，每個元素的光譜在進入檢測器之前已經分裂，檢測器一次只能接受某一波長的光譜；而能譜儀使用的檢測器和多道脈沖分析儀則直接測量不同能量元素的特征X譜線。圖13-4-1為合成碳化硅和金剛石的X熒光光譜。從圖中可以看出，Si的能量峰很尖銳，SiKα的能量峰位于1.739 keV。由于C是輕元素（Z=6），無論是光譜法，還是能譜法目前都比較難檢測。
?? 2. X熒光光譜儀的類型
??(1)便攜式X熒光光譜儀：一般為定性和半定量分析。它基于同位素源作為激發源。優點是體積小，攜帶方便，適用于現場分析，大型工件或設備上某部位的元素分析，合金牌號的鑒別；主要缺點是分析精度較差。
